晶體生長
發布時間:2020-05-25來源:洛陽賽樂電子科技有限公司點擊:1635
感應加熱廣泛應用于晶體生長領域,硅區熔提純,區熔硅芯,所用感應加熱仍為電子管式高頻電源,其頻率多為2-3MHz,功率幾十***百kW。目前固態電源技術由于器件***,仍無法替代傳統電子管式感應加熱。
IGBT電源多用于碳化硅,藍寶石,硅連鑄的生產。對電源的輸出穩定性要求極高,不控整流移相調功由于受到電網電壓波動影響,采用恒流模式調功會導致直流功率波動,溫度變化。即便是采用恒功率模式,逆變回路功率因數仍會隨著電網電壓波動,造成溫度、溫場變化,***終產品出現瑕疵或不合格。目前高精度的晶體生長電源會采用直流斬波電源消除這種影響。
由于晶體生長受熱場,加熱結構,生長工藝等多重因素影響。我們的電源具備晶體生長應用的功能及性能,但不作為主要市場方向。
全數字化,高精度斬波結構
加熱坩堝,或材料引紅后加熱。
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